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分子泵的性能原理及結構都是怎樣的呢?

更新更新時(shí)間:2020-06-05 瀏覽次數:2447

       分子泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。
  常規的分子泵使用軸承來(lái)確保葉片的高速旋轉。新型的分子泵采用磁懸浮構造,使得葉片轉速不斷提高的同時(shí),更使分子泵適合超高真空系統,也延長(cháng)了分子泵的使用壽命。
  分子泵與油封式旋片泵和渦輪式干泵相比,工作環(huán)境更加清潔,而且可以達到*的真空度。但是,分子泵不能在大氣壓下工作,必須和其他能夠在大氣壓下工作的粗抽真空泵(油封式旋片泵或渦輪式干泵)聯(lián)合使用。分子泵構造復雜、價(jià)格昂貴,高速旋轉工作時(shí)會(huì )有振動(dòng)。
  分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機理不同,利用了動(dòng)量傳遞原理,使分子定向流動(dòng)而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。
  分子泵在電機的帶動(dòng)下高速旋轉,采用變頻電源驅動(dòng)電機,目的是得到較高的轉速。在分子流區域內,氣體分子與高速轉到的葉片表面碰撞,動(dòng)量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面的運動(dòng)方向上,產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。通常把用高速運動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子,并使其按一定方向運動(dòng)的現象稱(chēng)為分子牽引現象,利用這一現象制成的真空泵稱(chēng)為牽引分子泵(蓋德泵)。牽引分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)時(shí)間短,在分子流態(tài)下有很高的壓縮比,能抽除各種氣體和蒸氣,特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小,密封間隙太小,工作可靠性較差,易出機械故降,而且制造困難,實(shí)際上很少應用。

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